洁净厂房
洁净厂房介绍
依据大气污染物存在的形式，可以将大气污染物分为颗粒物质和气态物质。所谓颗粒物质是指大气中粒径不同的固体、液体和气溶胶体。
粒径大于10微米的固体颗粒称为降尘，由于重力的作用，能在较短时间内沉降到地面；粒径小于10微米的固体颗粒称为飘尘，飘尘能够长期地漂浮在大气中；粒径小于1微米称为烟，通常烟是由燃烧过程产生的。雾是液体颗粒，其粒径一般在0.1-100微米之间。气溶胶体则是空气中的固体和液体颗粒物质与空气一起结合成的悬浮体，它的粒径在1微米以下，可以悬浮在大气中。气态物质主要有含硫化合物、氮化合物、碳氢化合物、碳氧化合物、卤素化合物等。
洁净厂房的定义
该洁净室的悬浮粒子浓度受控，其建造和使用方式是使进入、产生、滞留于室内的粒子*少；室内其他参数，比如温度、湿度、气压、按需要受控。
为什么需要洁净厂房？
1、MOCVD的内部腔体杂质粒子不超过10个；
2、每做一道工序之前，都需要进行清洗操作；
3、清洗使用的水是不导电的，电阻甚至在10MΩ以上；
4、使用的一切试剂都是电子纯级的，气体纯度都有9N。
非洁净环境的危害
1、生长外延时混入杂质粒子，将导致量子阱结构遭到破坏，可能使LED芯片丧失发光能力；
2、制作电极时混入杂质粒子，将导致芯片ESD下降；
3、任何一道工序中芯片沾上杂质粒子都会使LED稳定性显著下降！
如何实现一个洁净厂房?
1、洁净厂房位置选择和总平面布置
2、初期厂房的建造（无油设备、先进的空调机组、科学的厂房设计）
3、设备的安装、调试（全部密封运输、现场拆封）
4、工作人员的洁净处理
5、日常的保养、维护
洁净厂房的工作原理
传统通风型洁净室 单向流洁净室
防静电问题
器件具有线间距短、线细、集成度高，低功率、低耐压和输入阻抗高的特点，因而导致器件对静电越来越敏感，称之为静电敏感（ESDS）器件。
高密度集成元件中，不论是MOS器件，还是双极型器件都可能因静电电场和静电放电电流引起失效，或者造成难以被人们发现的“软击穿”现象，给整机留下潜在的隐患，直接影响着电子产品的质量，寿命，可靠性和经济性。
静电是如何产生的
静电一般指静止的电荷。指物体表面出现不平衡的电子由不足或过刺的电子总量决定表面电荷量,表面电子不足带正电，表面电子过剩则带负电。我们把电荷的产生和消失过程的电现象称为静电现象。
日常各种行动所产生的静电强度与环境的关系：在我们日常生活中．如走动、翻书、磁带旋转．将唱片从袋中抽出、穿衣、脱衣（特别是化纤制品）甚至空气流动都会产生静电。 静电的强度因为物体材质、摩擦与相对运动的速度、压力 |
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