产品描述
PSVL54-200U紧凑型线性纳米定位台，沿Z方向可提供200μm行程的运动。其紧凑的设计使其成为许多光子学和光纤定位应用的理想工具。
Z轴纳米定位线性位移台是基于压电压电陶瓷驱动的线性位移台，由于固态弯曲和平行结构，这些压电平台可以在X和Z方向上移动而没有任何机械间隙。 它们可提供比机械或机电系统更高的分辨率。本系列产品包含X、XY、XZ、XYZ产品可供用户选择。
PSVL54-200U系列位移台可以轻松地与XY和压电偏转旋转系统结合使用，以提供所有自由度的定位。
闭环版本具有高分辨率应变片式位置传感器，可实现高精度和可重复的运动，还可以补偿压电陶瓷的的蠕变。传感器采用全闭环电桥设计。它可以在开环或闭环控制中运行。
PSVL54-200U非常适用于小部件（例如反射镜和激光二极管）的纳米级精确定位，特别是在需要长期稳定性的应用中。
产品特性
—高柔性铰链确保高可靠性
—运动可达200μm（闭环）
—集成式杠杆传动
—可提供X向位移台、版本包含XY、XZ和XYZ版本
选配功能
—可定制转接装置
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可定制固定及负载安装孔位
应用领域
—光纤定位，激光光学
—表面测量技术
—半导体计量学
光子聚合、光纤定位 |
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光学仪器
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