SIC高温氧化炉扩散炉青岛晨立电子有限公司

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公　司：青岛晨立电子有限公司

发布时间：2024年10月22日

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姜先生先生 (销售经理)

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电　　话： 0532-88533525 传　　真：手　　机： 13954285618 地　　址：中国山东即墨市山东省青岛市即墨区泰山三路285号联东U谷即墨科技创新谷3号楼邮　　编：
公司主页：	http://m18612520901.yiwz.com(加入收藏)

详细说明

一、设备结构:
1、操作方式:左(右)手操作方式
2、硅片尺寸:圆形6寸片
3、工艺布局:满足客户工艺要求

4、外形:主机1台，主机架为卧式两管。

5、自动化程度:工控机控制系统自动控制工艺流程
6、送取片方式:手动进出舟。

二、主要技术参数:
1、加热炉管有效口径:满足6英寸硅片。可向下兼容5寸和4寸硅片。
2、工作温度范围:上管:600~1400℃
下管:200~500℃
3、恒温区长度及精度:600mm，
上管:800-1400℃.±0.2℃/24h
下管:200-500℃.±0.2℃/24h
4、控制方式:由工控机统一管理工艺

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