2MHz射频电源

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2MHz射频电源

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公　司：天津吉兆源科技有限公司

发布时间：2024年10月18日

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王丽女士 (销售经理)

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电　　话： 18610611799 传　　真：手　　机： 18526680128 地　　址：中国天津东丽区天津市滨海新区滨海科技园日新道196号研发楼D2一层邮　　编：
公司主页：	http://gmpower2024.yiwz.com(加入收藏)

详细说明

产品性能
该射频电源采用E类放大器，实现效率高、高可靠性。大的冗余设计，使其具有长期满功率输出能力。特殊的滤波网络，实现波形的纯净。谐波性能优越，可承受开路、短路等极端冲击。大屏幕液晶显示：设定功率、入射功率、反射功率、状态等参数

产品性能

该电源可以作为射频驱动等离子体系统的电源。应用对象包括：刻蚀、PECVD、磁控溅射、ICP等。

控制方式
该电源控制方式多样：RS232、RS485、DeviceNet和模拟口等方式。

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