远程微波等离子源RPS

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远程微波等离子源RPS

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公　司：成都奋羽电子科技有限公司

发布时间：2024年08月15日

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李女士 (市场总监)

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电　　话： 028-62093780 传　　真：手　　机： 18782291835 地　　址：中国四川成都市天勤路277号邮　　编：
公司主页：	http://freee2020.yiwz.com(加入收藏)

详细说明

 奋羽电子完全自由知识产权产品
 可根据客户需求提供定制化服务：功率、处理面积、腔体设计等
 固态微波源和磁控管微波源两种版本可选

项目固态源版本磁控管版本
输出功率 3kW 3kW
输出频率 2450MHz±25MHz 2450MHz±25MHz
频率误差 ±50ppm 2%-3%
微波泄露 ≤2mW/cm2 ≤2mW/cm2
供电电压 AC380V±10% AC380V±10%
供电频率 50Hz±2Hz 50Hz±2Hz
进/出水口 1/8宝塔接头 DN15
冷却方式水冷水冷
控制接口 RS485通信协议具备本地触摸屏控制及远程通讯功能
工艺气体 Ar、O2、H2、CF4等（CF4需配耐刻蚀材料） Ar、O2、H2、CF4等（CF4需配耐刻蚀材料）

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