石英软颂

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公　司：青岛福润德微电子设备有限公司

发布时间：2024年10月24日

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详细说明

Soft collar 为进口石英纤维棉采用德国加工工艺制成，用于扩散炉和PECVD设备中炉体和石英管之间的隔热保温，解决了以往用保温棉存在的两大问题：一是保温棉长时间高温下出现粉化脱落从而影响工作腔体洁净度，二是手动堵塞保温棉不均匀，影响工作区温度稳定性和均匀性。本产品可长期使用在高温下，不粉化，不硬化，不氧化，不变形，防震、耐腐蚀。  
技术指标：
保温材料：进口石英纤维棉
产品尺寸：根据客户扩散炉或PECVD设备炉体口径定制
使用温度：≤1287℃
线性收缩：≤0.1

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