电子级反式-1，2-二氯乙烯/DCE/TRANS-LC（DCE）
名称 反式-1,2-二氯乙烯/DCE/ TRANS-LC
化学式 C2H2Cl2
相对分子量 96.94
CAS号 156-60-5
理化性质 无色略带刺激气味液体，熔点－57℃，沸点48℃，密度1.265g/ml。易燃，其蒸气与空气可形成爆炸性混合物。与氧化剂能发生强烈反应。与酸碱需隔离存放。
主要用途:
高纯度氯源，主要用于晶圆制造过程中加快硅片氧化和清洗炉管。是半导体、分立器件、微机电系统（MEMS）、光伏制造业所需的电子化学品。
产品标准:
项目Item 标准值Standard Value 项目Item 标准值Standard Value
纯 度 99.999995%（7.5N） 锰（Mn）max 0.1ppb
CVD/ALD (Chemical Vapr Deposition /Atomic Layer Depostion )化学气相沉积材料
Dielectrics PMD/IMD TEOS ,TEPO,TMPO,TEB,TMB
Low K Dielectrics 4MS ,OMCATS
High K Dielectrics TAETO (Ta2O5 Precursor )
TEMAZ (ALD ZrO2 Precursor)
TMA (Al2O3 Precursor)
Metal Gate and Interconnect Metal TDMAT (TiN Precursor )
TiCl4 ( Ti /TiN Precursor )
Low-Temp Nitride/Oxide HCDS
Diffusion POCl3
供应半導體化學氣相沉積材料，專業研發及製造各種先進 CVD/ALD (Chemical Vapr Deposition /Atomic Layer Depostion )化學氣相沉積材料。
CVD Precursor(化学气相沉积材料)
TDMAT / InCl3/TEOS/TMB/T |
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