全新的Precis 200是基于Micro-Metric的Innova晶圆量测系统开发而来，采用了VMM 公司*先进的设计和技术。
, 新款Precis 包含了很多可配置选项，使设备更加通用，耐用以及可靠。
扩展了Z轴范围 2.5mm, 5mm or 100mm
透射照明
完整电子绘图 完全符合 SEMI S2 和 CE 标准
符合人体工程学的操作员控制台 ，带有隐藏键盘托盘, 可调节高度和角度的控制面板和显示器, SEMI S8 符合
全自动显微镜，所有设置计算机控制
*佳分辨率像素摄像头
VIEW Metrology Software (VMS) 可测组件很广泛, 可选CAD导入 以及完整的几何尺寸和公差导入。
MMWin 晶圆片 和Mask计量软件 晶圆片的重要尺寸和迭置重合测量, 滑块 ABS,光掩模和平板显示器.
X,Y,Z行程(mm): 标准200 x 200 x 5 可选200 x 200 x 100
*大载重: 12 kg
XY精度: E1=(0.25+2L/1000)um
Z 精度: E1=(0.25)um (with use of a 100X lens)
分辨率： 0.01 微米
视场测量精度和重复性：0.01 m (100x)
直流伺服马达驱动
Precis 主要用于以下应用：
- 亚微米测量：
微器件和电子元器件封装、引线框
微型球状引脚栅格阵列封装
硬盘驱动臂、探针卡、刀片
- CD 和套刻测量：
线宽、涂覆层
MEMS 器件、接触窗、喷墨打印头
硬盘驱动头、磁头等 |
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