等离子体指部分或完全电离的气体，且自由电子和离子所带正、负电荷的总和完全抵消，宏观上呈现中性电。等离子体又叫做电浆，是由部分电子被剥夺后的原子及原子被电离后产生的正负电子组成的离子化气体状物质，它广泛存在于宇宙中，常被视为是除去固、液、气外，物质存在的第四态。
与传统的方法相比，等离子体表面处理具有成本低、无废弃物、无污染等显著的优点，同时可以得到传统的化学方法难以达到的处理效果。现在低温等离子设备广泛运用于金属、微电子、聚合物、生物功能材料、低温灭菌及污染治理等多种领域。
等离子设备中频，射频等离子处理机型；处理方式有水平、垂直、卷式RTR、转鼓等真空等离子处理设备和喷射、准辉光、隧道、水平线多种常压等离子处理设备；
等离子处理机具有高稳定性、高性价比、高均匀性等诸多优点。
特色鲜明的处理腔体形状和电极结构可以满足不同形状、不同材质的表面处理要求，包括薄膜、织物、零件、粉体和颗粒等。 |
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