产品应用：为 MOCVD、PECVD、刻蚀机等配套设备，应用于半导体行业、太阳能电池行业、生物工程、医药卫生、武器仿真等领域
产品简介：
气瓶柜/气瓶架采用国际通行的质量标准及工作原理，保证高纯易燃易爆腐蚀有毒气体安全地为相应的设备提供工艺气体。
功能：正常工艺供气、换瓶的抽空回充、工艺结束的排空回充及正常使用的工作状态指示、异常报警（如负压异常、泄露、烟雾火等等）及相应的安全关联响应等。排空一般采用的是文丘里原理（根据客户要求可采用真空泵排空方式等）。
气瓶柜装有安全防爆玻璃，气路管件均采用进口优质的管道（EP级SWAGELOK自动轨道焊接等）、阀门、VCR接口均采用SWAGELOK、 PARK及APTECH ，泄漏检测、延误火报警均采用优质品牌。
主要技术特点
◆按瓶数分类：单瓶柜（架）/二瓶柜（架）/三瓶柜（架）/四瓶柜（架）
◆按气体分类：气瓶柜（易燃易爆腐蚀有毒高纯气体）、气瓶架（高纯气体，如高纯氧气、氩气等）
◆完善的安全报警装置，具有气体泄漏检测报警（如SiH4、PH3、HCL等泄漏报警）、烟雾、火报警等
◆控制方式：“触摸屏+PLC”全自动控制（含手动控制）
◆气路管件：全部进口，管道为EP级（CARDINAL/SANDVIK）、 阀门焊接头为 SWAGELOK或相当、减压阀为PARK或相当、全部VCR接口及自动轨道焊接
◆气瓶柜留有排气口，并具有负压检测
◆气路设计合理完善，工作管路具备抽空、回充、压力指示等功能
◆气瓶柜内装有气瓶称重装置，可即时观察气瓶重量 |
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