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一、定位精度高：使用线性滑轨作为线性导引时，由于线性滑轨的摩擦方式为滚动摩擦，不但摩擦系数降低至滑动导引的1/50，动摩擦力与静摩擦力的差距亦变得很小。因此当床台运行时，不会有打滑的现象发生，可达到μm级得定位精度。
二、磨耗少能长时间维持精度；传统的滑动导引，无可避免的会因油膜逆流作用造成平台运动精度不良，且因运动时润滑不充分，导致运行轨道接触面的磨损。而滚动导引的磨耗非常小，故机台能长时间维持精度。
三、使用高速运动且大幅降低机台所需驱动马力：由于线性滑轨移动时摩擦力非常小，只需较小动力便可让床台运行，尤其是在床台的工作方式为经常性往返运行时，更能明显降低机台电力损耗量。且因摩擦产生的热较小，可适用于高速运行。 |
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