API激光跟踪仪在半导体行业的应用
ASYS公司使用API激光跟踪仪测量自动化供应系统
位于绍恩多夫的ASYS自动化系统公司负责为半导体行业和微结构技术研发处理系统。ASYS设计和制造的机器人（包括真空室）可作为独立或者完整的供应系统用于真空或清洁室应用中。如今半导体已无处不在，没有半导体电气产品就无法正常工作，而半导体的生产则需要一个防护型生产环境，或能够对有毒的生产过程进行防护的环境。联系电话：186-0138-1355.
质量和洁净度
半导体对生产环境的要求相当严苛。除了真空度和洁净度外，处理系统的动态特性（如重复性和定位精度）也非常重要。由于处理系统在工作时始终处于运动状态，所以其动态特性也再次为测量技术提出了非常特殊的挑战。由于即使是*先进的三坐标测量机也无法进行动态测量，所以ASYS采用激光跟踪仪对处理系统进行校准。
真空
半导体产品和微结构技术产品是在隔离的环境（如真空环境、保护性气体环境或者指定洁净度等级的环境）中通过复杂的制造工艺生产出来的。用于半导体行业的机器人设备需要 将不同的工艺步聚连接在一起，并能够在上述环境中精确运行。由于油漆会释放出气体，干扰极其敏感的生产过程，所以真空环境内是不允许喷涂油漆及其它化学物质的。另外，由于真空室就像一个具有良好绝缘特性的保温瓶，其内部热量很不容易散去，会对机械和化学处理工艺造成影响，所以对真空环境进行热量控制也很重要。 |
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