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HVA 矩形阀 88200 系列
HVA 矩形阀 88200 系列
上海伯东美国 HVA 矩形阀门 88200系列矩形板阀是采用了直连驱动技术的接口阀，可靠使用寿命超过1百万次。HVA 闸板阀专用于真空相关系统，起隔绝真空压力的作用。HVA真空闸板阀外形尺寸小，设计紧凑，可靠应用于生产线与过渡腔室（load-lock chamber），过渡腔室（load-lock chamber）与传输系统（handling system），传输系统（handling system）与工艺腔室（process chamber）等等，需要分隔真空压力的地方。
HVA 88200 系列矩形真空板阀产品特点
1. 超百万次可靠运行寿命
2. 不产生粉末，颗粒，防尘设计
3. 阀动作平稳,振动和冲击小
4. 标准接口，或按客户要求定制
5. 阀体材料经过1E-6Torr,1100℃真空铜焊处理
6. 适用于1E-9Torr,200℃条件下
HVA 88200 系列矩形真空板阀技术参数
连接形式：
标准或定制法兰
主体材料：
铝
公称通径：
DN32*222 mm-DN50*336
DN32*222 mm-DN100*1250
漏率:
2x10E-9 AtmCC/Sec
压力范围:
1x10E-9 Torr
烘烤温度:
《150℃
适用介质：
水、蒸汽、空气
密封形式：
软密封型
驱动方式：
气动
使用寿命:
1000000 启闭次数
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