产品特点：
◆主机为水平一至三管炉系统构架，独立完成不同的工艺或相同工艺
◆仪表控制系统，对炉温、气体流量、闸门等动作进行自动控制
◆关键部件均采用进口，确保设备的高可靠性
◆控温精度高，温区控温稳定性好；
◆具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能
◆高质量的加热炉体，确保恒温区的高稳定性及长寿命
扩散炉主要技术指标
1、工艺说明
1.1氧化：干氧工艺，湿氧工艺（去离子水）
1.2扩散：硼扩、磷扩（液态源、固态源等）
1.3合金、退火等工艺
2、系统组成：主机（加热体、石英/SiC管、功率组件等)、净化工作台、气路气源系统（气源柜）、仪表控系统等组成
3、控制方式：手动送片/自动送片
4、扩散炉配置（可选）：
4.1仪表控制/触摸屏控制
4.2工艺管（水平结构）：1-3管
4.3工艺规格：2~6英寸晶圆或125mm×125mm、156mm×156mm太阳能电池片（工艺腔体为石英或碳化硅）
4.4恒温区长度：1100mm/800mm/600mm/450mm
4.5晶圆装载：悬臂式，刚玉/碳化硅杆，碳化硅桨
4.6工作台：有净化/无净化
5、扩散炉主要技术参数：
5.1工作温度：200～1300℃
5.2加热体控制点：3/5点
5.3炉体恒温区：450mm/600mm/800mm/1100mm
5.4恒温区精度：＞800℃/±0.5℃ ，＜800℃/±1℃
5.5单点温度稳定性：600～1300℃/ ±0.5℃/24h
5.6*大可控升温速度：15℃/min
5.7*大降温速度：5℃/min（900～1300℃）
5.8供电：三相四线，380VAC/50HZ |
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