直流等离子电源系统 DCPS系列

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直流等离子电源系统 DCPS系列

直流等离子电源系统 DCPS系列_馗鼎奈米科技股份有限公司_直流等离子电源系统 DCPS系列

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公　司：馗鼎奈米科技股份有限公司

发布时间：2020年02月11日

有效期：2020年08月12日

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梁雅娟女士 (业务)

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电　　话： 886-62323927 传　　真： 886-62013306 手　　机： 13910378079 地　　址：中国台湾台南市台湾省台南市永康区中正路279巷21弄59号邮　　编：
公司主页：	http://creatingnano.yiwz.com(加入收藏)

详细说明

產品功能
．符合等离子特性的电气规格
．具备定功率，定电压，定电流
．内建电弧保护功能
．内建过电压，过电流，过热，过载等保护功能
．可用于单双火线的等离子系统
． PLC 使用者介面相容于AE-Pinnacle 或ADL-GSW (择一)

產品特色
．数位控制系统
．设定范围广
．高等离子密度
．可客制化洽询

應用產業
．真空镀膜制程之清洗处理
．等离子辅助化学沉积制程
．等离子辅助溅镀制程

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