青岛晨立专业供应扩散炉、扩散炉炉体

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青岛晨立专业供应扩散炉、扩散炉炉体

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公　司：青岛晨立电子有限公司

发布时间：2024年10月23日

有效期：2025年04月24日

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姜经理先生 (销售)

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电　　话： 0532-88533525 传　　真： 0532-67720618 手　　机： 13869885308 地　　址：中国山东即墨市山东省青岛市即墨区泰山三路285号联东U谷即墨科技创新谷3号楼邮　　编： 266200
公司主页：	http://chenlidianzi.yiwz.com(加入收藏)

详细说明

设备用途：用于大规模集成电路、太阳能电池片、电力电子、光电器件、光导纤维等行业的氧化、扩散、烧结、合金等工艺。

设备特点：单元组合方式。根据工艺的不同，可以在主机的基础上配气源柜、超净工作台、悬臂推拉舟等。

主要技术指标：

★ 炉管数： 1～4管

★ 配工艺管口径：Φ90～360 mm (3～12英寸)

★ 恒温区长度： 760～1000 mm±1.0℃ (300～800℃)

760～1000 mm±0.5℃(800～1280℃)

★ 单点稳定性： ±1.0℃/24h (300～800℃)

±0.5℃/24h (800～1280℃)

★ 气源路数： ≤7路，可配恒温源瓶、氢氧合成点火器

★ 气体控制：浮子/质量流量计

★ 悬臂舟参数：速度： 20～1000 mm/min

*大行程：2000 mm

定位精度：±1 mm

*大载荷：17 Kg

★ 超净工作台：净化等级：100级（万级厂房）

噪音： ≤62dB（A）

振动： ≤3μ

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