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一．能谱仪基本介绍
X 射线荧光分析技术（ XRF ，又称 X 射线荧光光谱仪）作为一种快速分析手段， 为我国的相关生产企业提供了一种可行的、低成本的、并且是及时的，检测、筛选和控制有害元素含量的有效途径；相对于其他分析方法（例如：发射光谱、吸收光谱、分光光度计、色谱质谱等）， XRF 具有无需对样品进行特别的化学处理、快速、方便、测量成本低等明显优势，特别适合用于各类相关生产企业作为过程控制和检测使用。
X 射线荧光分析技术可以分为两大类型：能量色散 X 射线荧光分析（ EDXRF ，以下我们简称能量色散）和波长色散 X 射线荧光分析(WDXRF，以下我们简称波长色散）；而能量色散型又根据探测器的类型分为（ Si-PIN ）型和 SDD 型。在不同的应用条件下，这几种类型的技术各有其突出的特点；以下将针对欧盟 ROHS & WEEE 指令的具体应用情况，对能量色散和波长色散进行比较和说明：
仪器 类型 波长色散 能量色散
性能 指标 （ Si-PIN ）型 （SDD ）型
测量精度 20--50ppm 200--300ppm 100--200ppm
测量时间
1--2分钟
4--6 分钟
3--5 分钟
被测样品要求
规则形状 需要制样
可以不规则形状
可以不规则形状
被测元素类型
轻元素
重元素
重元素
*佳应用范围
原料，半成品
成品，电子元器件
原料、半成品，成品，电子元器件
能量分辨率
高，约 15eV
较低，约 160eV
较低，约 160eV
荧光强度
高
低
较高
技术复杂程度
复杂
简单
较复杂
使用寿命
＞ 10 年
＞ 5 年
仪器造价
高
较低
高
1 、测量精度： 尽管目前各家能量色散仪器（均为 Si-PIN 类型）生产商和销售商都给出了很高的技术指标，但在实际应用中（特别在被测样品不进行处理的情况下），真正可以期待的准确度都在 200~300ppm 之间（测量塑料中有害元素时，准确度会好一些；对不规则样品，则精度会更差）；同时，对于同类型的仪器，进口仪器的指标和国产仪器之间并没有本质差别（基本配置），但进口仪器的价格却昂贵很多。波长色散测量准确度比能量色散类型要高一个数量级，基本在 20~50ppm 左右。
2 、测量时间： 由于波长色散配备较大功率的 X 光管，荧光强度高；因此，波长色散仪器占用较短的测量时间，便能达到较高的测量精度。
3 、被测量样品的要求： 由于技术特点的差异，波长色散需要对被测量样品进行简单的处理；对固体样品的一般处理方法是将被测量样品表面打磨光滑，对粉末和其他样品可以采用磨细后进行粉末压片法处理，相应的设备市场上很容易找到。能量色散型仪器*大的优势在于：可以对样品不作特别复杂的处理而直接进行测量，对样品也没有任何损坏，适合直接用于生产的过程控制中；但需要强调指出的是：从荧光理论上讲，被测量样品的预先处理是必须的，对于能量色散仪器来说，我们可以采取一些技术手段进行校正来满足实际生产控制的需要，但即使采用了技术校正的手段，对不规则样品的直接测量也是以牺牲测量准确度作为代价的。
4 、*佳应用范围： 由于波长色散和能量色散类型各自的技术特点，两种类型仪器所侧重的应用方案也不尽相同；波长色散具有较高的测量精度，但同时需要对被测量样品进行简单处理，更适用于进厂原材料、半成品、成品的精确检测和质量控制；能量色散虽然测量精度稍差，但具有快速、直接测量各种形状样品的优点，因此可直接在生产线上用于各种部件、电子元器件的检测。 |
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