产品特点：
● 采用双重闭环运动控制，电机在高速运动时具有精确的定位以及运动时的稳定性；
● 采用本公司开发的嵌入式模块控制电机，提高了电机响应速度，还简化了仪器与PC机的 接口，PC机与仪器通过USB线和S端子线连接；
● 采用花岗石平台，外观简洁大方；
● 表面光由独立四十八组光源组成，每一组均 为恒 流源驱动，连续可调；
● 配有我公司专用的全自动测量软件Mclns，大大提高测量效率。
仪器型号 VMS-3020CNC VMS-4030CNC VMS-5030CNC
工
作
台 金属台面尺寸(mm) 506×356 606×466 700×450
玻璃台面尺寸(mm) 350×280 450×350 550×350
运动行程(mm) 300×200 400×300 500×300
仪器重量(kg) 140 240 290
外形尺寸(长X宽X高) (mm) 770×590×1100 950×700×1100 970×670×940
镜头 日本SONY CCD
X、Y、Z数显解析度 1μm
X、Y坐标示值误差 ≤(3+L/200)μm
电机 伺服电机： 日本
三轴运动速度： 100mm/s
三轴定位精度： 0.001mm
电源 AC110V/220V
消耗功率 <100W（不包括电脑） |
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