型号:SM-4    
迷你型探针台   
特点     
紧凑的结构     
轻巧的重量    
实惠的价格    
可以做光电方面测试应用   
LED/LD/PD的光强/波长测试  
可以进行射频测试，加装东/西方向针座     
适合大学实验室通用   
适合4"以下晶圆测试     
Chuck通过x-y方向丝杠驱动     
无后座力移动   
 
规格     
真空吸附型CHUCK      4英寸不锈钢材质 
Chuck 行程            X-Y方向行程4" x4"
Chuck 移动精度   10微米  
Chuck 可旋转角度     0~360 °
平台              可放置6 个针座  
 
需求     
电力  220 VAC, 60Hz   
真空   -250 mmHg, 7 liter/min   
 
尺寸     
400mm长 x 400mm宽 x 400mm高(带显微镜)     
重 30 Kg  (带显微镜)  
 
可选附件     
Chuck快速拉出装置    
积分球夹具  
显微镜倾仰装置和快速移动装置     
光强/波 |
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