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公 司: 成都莱峰科技有限公司
发布时间:2014年08月20日
有 效 期:2015年02月16日
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张多 先生 (销售经理)
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公 司:成都莱峰科技有限公司

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详细说明

    气体传输:2-8种气体 , Swagelok卡套连接
气体类型:30种
进气压力:0.1-0.4MPA
控制阀动作型式:常闭式
响应时间(sec):1S
工作压差:0.05~0.5MPA
*大耐压:3MPA
控制原理:质量流量控制,每个出口单独控制
流量:50SCCM,100SCCM,500SCCM可定做
采用温度变化对应于质量流量的原理,可以对不同的气体进行流量量测及控制,并且不会受到温度及压力变化的影响
其他流速可选择 ,其他气体可选择
准确性: 优于1%
数据:输出的数据转换为标准状态下的质量( 1个大气压,0度)
标准状态规定为:
标准温度………………0℃(273.15K)
标准压强………………101325Pa

控制显示方式:电脑操作
精确控制两种不同气体流量大小,使用其按不同比例(量)均匀混合,并精确控制混合气体流量大小。
可通过电脑软件控制及采集流量信号


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